1987

スタンフォード大学の脳神経外科医ジョン・アドラー博士によりCyberKnife Stereotactic Radiosurgery Systemが開発される。

1990

カリフォルニア州のシリコンバレーにて、Accuray Incorporatedが設立される。

1994

サイバーナイフシステム一号機が完成し、スタン
フォード大学など米国5施設にて臨床実験が行われる。

1996

日本でサイバーナイフシステムによる頭頸部における腫瘍の治療が承認される。

1999

米国食品医薬品局(FDA)より、頭頸部および頸胸椎の腫瘍治療の適応に対して許可を取得。

2001

サイバーナイフシステムによる体幹部への治療が米国FDAにより認可される。

2002

米国FDAにより、Synchrony呼吸追尾システムが認可される。

2004

米国FDAによりXsight® Spine Tracking Systemが
認可される。

2006

米国FDAによりXsight® Lung Tracking Systemが認可される。

2007

世界で100台目のサイバーナイフシステムが設置
される。

2008

日本でサイバーナイフシステムが体幹部における腫瘍に適用拡大される。

2010

日本にて「サイバーナイフ ラジオサージェリーシステム」(G4)の販売が開始される。米国にて、Lung Optimized Treatmentを発表する。

2011

TomoTherapyを買収・統合する。

2012

日本におけるトモセラピーシステムの輸入・据え
付け・保守の業務の移管を受ける。

2013

日本にて「サイバーナイフ ラジオサージェリーシステム」(VSI)の販売が開始される。

2012

日本にて「サイバーナイフM6シリーズ」の販売が
開始される。